武汉敏声新取得一种体声波谐振器及其制备方法专利方便减少锚固损耗从而提升品质因子

武汉敏声新取得一种体声波谐振器及其制备方法专利，方便减少锚固损耗，从而提升品质因子

金融界2024年8月29日消息，天眼查知识产权信息显示，武汉敏声新取得一种体声波谐振器及其制备方法专利，方便减少锚固损耗，从而提升品质因子武汉敏声新技术有限公司取得一项名为“一种体声波谐振器及其制备方法“，授权公告号CN118041284B，申请日期为2024年2月。专利摘要显示，本申请提供一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，包括衬底、下导电层、压电层和上导电层，在交叠区域的边界处设置有位于上导电层和压电层之间的第一空腔，在第一空腔内设置有多个第一支撑柱，多个第一支撑柱用于将第一空腔划分为至少部分位于...