武汉敏声新取得一种体声波谐振器及其制备方法专利，方便减少锚固损耗，从而提升品质因子

金融界2024年8月29日消息，天眼查知识产权信息显示，武汉敏声新取得一种体声波谐振器及其制备方法专利，方便减少锚固损耗，从而提升品质因子武汉敏声新技术有限公司取得一项名为“一种体声波谐振器及其制备方法“，授权公告号CN118041284B，申请日期为2024年2月。

专利摘要显示，本申请提供一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，包括衬底、下导电层、压电层和上导电层，在交叠区域的边界处设置有位于上导电层和压电层之间的第一空腔，在第一空腔内设置有多个第一支撑柱，多个第一支撑柱用于将第一空腔划分为至少部分位于交叠区域内的多个通孔，多个通孔沿交叠区域中心至边界的方向排布。利用多个通孔与第一支撑柱以及上导电层形成的阻抗不匹配构建第一声反射结构，从而能够对横向声波进行多次反射，方便减少锚固损耗，从而提升品质因子。并且利用第一支撑柱支撑在压电层和上导电层之间，使得第一空腔处具有较好的强度和稳定性。将第一空腔上方的上导电层抬离压电层，进而增强谐振器的散热能力。